光学镀膜元件的表面质量及内材质量都是以表面缺陷的程度进行定义的，根据美国军标，通常有三个标准来判定光学件的表面质量。MIL-O-13830是1954年开始执行，并且在1964年完成修订的；MIL-C-48497是1974年开始执行，并且在1980年完成修订的；MIL-F-48616开始于1974年。这些标准所定义的表面缺陷：划痕和点子，如下所述：

划痕－长度远远超过宽度的表面缺陷。

点子－长宽大致相等的表面缺陷。

划痕及点子的判定是根据缺陷的宽度或直径进行的，并且在美国军标中有独立的条款规定。在最新的军标中，将划痕的指标定义为以0.001mm为单位；将点子的指标定义为以0.01mm为单位。在光学元件的设计时，可以使用相关的字母来标定质量等级。下表将作详细介绍。

一般光学零件图纸中，正规的表面质量表述方法是定义划痕/点子的级别或代码，并且附加上一个美军标的序列号。划痕/点子的级别或代码将决定光学元件表面可以允许的划痕/点子的尺寸及密度；而美国军标的序列号，则定义的是检验及评价划痕/点子的方法和环境。例如：F-F per MIL-F-48616 or 80-50 per MIL-O-13830。 
美国军标 MIL-O-13830 
检验方法

将被检元件放置在一块磨砂玻璃的表面，用40瓦的灯泡照明从玻璃下方照明。表面磨砂的不透明部分呈长条状，必须大于玻璃表面的1/2。这些条状的不透明部分可以帮助检验者观察光学元件轻微的颜色缺陷，这些缺陷在普通光照下是很难被看到的。

检验使用裸眼，并通过对比美国军标划痕/点子的标准，来判定产品是否符合要求。每个表面都要独立、分别检验及判定。

判定的方法—划痕

当找到最大的划痕后，将元件上划痕总的数量乘以划痕的长度，并将结果除以元件的直径，该数值不得大于1/2。如果找不到最大的划痕，即将元件上划痕的总长除以元件的直径，该数值不得大于1/2。

判定的方法—点子

在直径20mm内，无论点子还是碎片的最大尺寸不得超过标准的规定。

在直径20mm内，所有点子的直径相加不得超过最大可以允许直径的2倍。气泡、杂质的检验判定方法相同。

 
美国军标 MIL-F-48616 
检验方法

检测的环境要求是2~15瓦的荧光灯管，从下方或上方（根据检验透射元件或反射元件的实际需要）照明；并且有黑色背景。裸眼检验。并通过对比美国军标划痕/点子的标准，来判定产品是否符合要求。每个表面都要独立、分别检验及判定。

判定的方法—划痕

当找到最大的划痕后，将元件上划痕总的数量乘以划痕的长度，并将结果除以元件的直径，该数值不得大于1/2。如果找不到最大的划痕，即将元件上划痕的总长除以元件的直径，该数值不得大于1/2。

判定的方法—点子

在直径20mm内，无论点子还是碎片的最大尺寸不得超过标准的规定。

在直径20mm内，所有点子的直径相加不得超过最大可以允许直径的2倍。气泡、杂质的检验判定方法相同。

这两种检验方法各有优点。MIL-F-48616可以更加方便的观察到缺陷，并且有能力观察到缺陷对成像的影响。但是针对点子的级别判定而言，MIL-O-13830更加快捷，可以直接同标准样板进行比对，无需另外测量。
 
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